尊龙凯时人生就是搏

双通道温度控制设备

半导体专用温控装置(Chiller)主要用于半导体制程中对反应腔室温度的精准控制,主要由热交换器、循环泵、压缩机和控制系统组成的一个自我平衡的循环装置,属于生产历程中的温控设备。在通例PID控制算法的基础上加入了预测控制技术和自适应控制技术,并接纳变频控制及两级闭环节能控制,显著地提高了Chiller的稳定性、控制精度和响应速度。

变频控制,智能PID控制
预测控制及自适应控制
?榛πФㄖ,高效节能
两级闭环节能控制

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  • 冷却要领
  • 循环液
  • 温度规模
  • 精度
  • 制冷
  • 制热
  • 压力

双通道系列温度控制设备

  • 水冷式
  • 尊龙凯时人生就是搏
  • -20°C~+80°C
  • 士0.1°C
  • 4KW
  • 3KW
  • 0.6MPa

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