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半导体热电制冷器

主要由加热循环系统、冷却系统、控制系统、箱体等组成。加热循环系统包括循环泵、电加热器、膨胀容器、排气阀、单向阀、热电阻、循环管道等组成。

全密闭系统:接纳全密闭式系统设计,整个循环管路只有加液盖上留出的呼吸孔,导热油不会直接与空气接触,延长了导热油使用寿命同时确保系统运行的稳定性,膨胀油箱始终坚持在常温状态,高温时无油雾爆发。
控温系统:自主开发的温度控制 ?,改变控制设定的要领,能够尽快的响应历程中系统的滞后,获得最小的温度过冲 ?刂朴闪阶镻ID(每组PID是可变的)控制回路组成,这两组控制回路成为主回路和从回路,主回路的控制输出作为从回路的设定值。系统接纳带有前馈PV,主控回路的PID运行结果的输出与前馈PV信号复合后作为主控回路的设定值,通过这样对温度变革进行梯度控制,包管系统的温度精度。
高效换热系统:系统接纳管道式加热冷却,加入循环的液体很是少,制冷接纳板式换热器,加热接纳管道式法兰加热器,整个系统的容积(板式换热器容积+管道式加热器容积+循环泵内容积+循环管路容积)。
控制重复性:基于高级动态控制系统,每次都能实现一致的控制结果,大大提升产品生产的稳定性。

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  • 电源功率
  • 最大电流
  • 额定电压
  • 制冷量
  • 重量

半导体热电制冷器

  • 1000W
  • 10A
  • AC100~240V50/60Hz
  • 600W
  • 28kg

产品推荐

半导体专用温控装置(Chiller)主要用于半导体制程中对反应腔室温度的精准控制,主要由热交换器、循环泵、压缩机和控制系统组成的一个自我平衡的循环装置,属于生产历程中的温控设备。在通例PID控制算法的基础上加入了预测控制技术和自适应控制技术,并接纳变频控制及两级闭环节能控制,显著地提高了Chiller的稳定性、控制精度和响应速度。

双通道温度控制设备
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主要由加热循环系统、冷却系统、控制系统、箱体等组成。加热循环系统包括循环泵、电加热器、膨胀容器、排气阀、单向阀、热电阻、循环管道等组成。冷却系统包括油水换热器、油油换热器(部分设备)、冷却水电磁阀、高温电磁阀等组成 ?刂葡低辰幽蒔ID控制技术,高清触摸屏显示,设有多项;すπ,确保设备宁静运行。通过机组自身的加热与冷却,向外界输送载热流体,满足工艺条件要求。

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